掃描探針顯微鏡與掃描電子顯微鏡，雖然它們只有兩個字的不同，但卻是兩種完全不一樣的設備，那么這兩種設備具體有哪些差異呢，下面小編給大家簡單介紹下。

①從功能上來看，跟傳統的顯微鏡比較，掃描探針顯微鏡具有非常高的分辨率，能夠很輕易的就看到原子，并且其所得到的樣品表面是真實，實時的高分辨率的圖像，對于使用環境上，掃描探針顯微鏡的使用環境還是比較寬泛的，不僅能夠在真空中正常使用，還能夠在大氣中或者低溫，高溫甚至是在溶液中也可以正常使用；而sem掃描電子顯微鏡它對于其使用的環境要求是較嚴苛的，樣品是在高真空的條件下才可以進行正常檢測。

②從原理上來看，掃描探針顯微鏡，因為它的工作原理是控制探針來進行掃描成像的，所以掃描的速度會受到一定的限制，檢測的效率也會偏低于其他的顯微技術。由于壓電效應在保證能夠精度定位前提下的運動范圍較小（目前是很難突破100μm量級），而機械的調節精度又沒有辦法與之銜接，因此做不到像掃描電子顯微鏡那樣大范圍的連續變焦，對于定位與尋找樣品特征結構也比較困難。目前掃描探針顯微鏡中很為廣泛使用管狀壓電掃描器的垂直方向的伸縮范圍比平面掃描的范圍一般是要小一個數量級的，掃描的時候掃描器會隨著樣品表面的起伏而伸縮，如果被檢測的樣品表面的起伏超過了其掃描器的伸縮的范圍，則會造成系統無法正常使用甚至是損壞探針。所以，掃描探針顯微鏡對樣品表面的粗糙度的要求較高。

③從用途上來看，掃描探針顯微鏡的應用領域是很廣泛的，無論是在物理，化學，生物，醫學等基礎學科，還是在材料，微電子等應用學科中都有它的身影。而sem掃描電子顯微鏡其基本的功能就是對各種的固體樣品表面進行高分辨的形貌觀察，大景深圖像是掃描電子顯微鏡觀察的特色，例如：生物學，植物學，地質學，冶金學等等。