掃描電鏡是當前眾多領域必備的檢測工具。由于sem掃描電鏡結構復雜，需要多套系統配合工作，一日出故障，很難判斷問題，所在日常維護很重要。這兩期文章，小編將會就掃描電鏡的維護與您分享一丟丟經驗~

sem掃描電鏡維護要點之一：設備各項參數的檢查和記錄

√做好使用記錄，可以保證故障的可追溯性，便于故障排除

√將數據(設備的真空參數和各項電流參數)做成表格

掃描電鏡維護要點之二：專業人員定期系統維護

√5x8小時工作的設備至少每年維護一次

√7x24小時工作的設備至少每半年維護一次

sem掃描電鏡維護要點之三：房間溫濕度檢查

√每天檢查

√房間溫度應當控制在19~25℃(尤其夏季) 空調出故障時，及時關閉掃描電鏡和水冷機

√房間濕度應當小于65%

濕度對sem掃描電鏡的損害是一個長期緩慢又不易被發現的過程，潮濕地區需讓抽濕機全天運轉

常見危害案例:

曾經有客戶反饋掃描電鏡的自檢程序報錯，sem掃描電鏡樣品臺不能初始化且圖像異常。檢查結果:前空調故障導致電路板上有大量冷凝水，進而對多塊電路板及物鏡造成損壞。所以要控制好房間的溫度，發現空調有問題，及時關閉掃描電鏡和水冷機。而濕度過高也會引發sem掃描電鏡各種問題，如接口腐蝕等。

掃描電鏡維護要點之四：真空泵定期檢查和保養

√真空油泵的定期維護

每個月檢查泵油的使用情況，確保油位在兩個刻度線之間。用毛刷或者吸塵器清潔真空泵散熱風扇。

√油泵的定期保養

每年更換油泵的泵油

√真空干泵的定期維護

檢查真空泵工作時是否有異響，清潔真空泵散熱風扇。

√干泵的定期保養

每年更換真空泵密封套件。

以上就是小編介紹的sem掃描電鏡的維護要點啦!您的掃描電鏡一直期待著您的日常關心哦~~下期我們將繼續講解掃描電鏡日常維護剩余的幾點注意事項，敬請期待