掃描電鏡如今被廣泛的使用于各類材料的形態結構、界面狀況、損傷機制及材料性能測試等領域的研究。儀器主要由七大系統組成，即電子光學系統、信號探測處理和顯示系統、圖像記錄系統、樣品室、真空系統、冷卻循環水系統、電源供給系統。其中重要的三個系統是電子光學系統、信號探測處理和顯示系統以及真空系統。

SEM掃描電鏡的日常維護：

1、保持掃描電鏡操作臺面整潔，不允許身體倚靠，凍水機等裝置不可放置重物；

2、開機時一定要先開水冷系統,并要檢查冷卻水的溫度，關機至少15分鐘后才能關閉冷卻水；

3、進樣品時,檢查Z軸和T軸的位置、緩緩關閉樣品室,確保進樣倉門徹底關閉,才可點擊EVAC按鈕抽氣；

4、移動樣品，通過配合移動StageDriver將載物臺向X軸和Y軸方向移動，從而移動樣品，并保證小于大允許值；

5、傾斜樣品，-10°~+45°，要十分當心，不要撞壞探頭。要根據樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度，注樣品可傾斜的大安全角度要小于允許值，防止樣品撞傷物鏡極靴；

6、用BSE探頭時不可傾斜樣品臺；

7、樣品只有在加速電壓關閉的情況下才可取出，不作樣品掃描時要關閉高壓；

8、放氣時HT要處于關閉狀態，一定要等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門；

9、更換鎢燈絲時，等待兩分鐘時間，然后打開電子槍，用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩，以免被燙傷；

10、SEM掃描電鏡需要手動調節的部分主要有光闌,象散，工作距離調節的旋鈕等，其他部件不允許調整；

11、每周加兩到三次液氮，兩次間隔不超過四天。