在掃描電鏡中，電子束照射對樣本可能造成多種損傷，特別是在高能量電子束下。以下是一些可能的樣本損傷：

表面電荷積累：高能量電子束照射樣本表面時，可能會導致電子從樣本表面被排斥出去，造成表面電荷積累。這些表面電荷可能會影響樣本表面形態，導致圖像失真。

樣本脫水和收縮：電子束照射會引起樣本內部水分的蒸發和去除，導致樣本脫水和收縮。這可能會改變樣本的形狀和尺寸，導致失真。

電子束傷害：高能量電子束照射可能會對樣本結構造成直接傷害，特別是對于柔軟和有機樣本。電子束照射會使樣本中的分子和原子發生斷裂，導致樣本結構的破壞。

電子輻照損傷：高能量電子束照射樣本時，電子輻射可能會對樣本中的分子和原子產生一系列的物理和化學效應，導致樣本的結構和性質發生改變。

熱效應：電子束照射樣本時，會引起樣本局部區域的升溫。高溫可能會導致樣本的熱膨脹和變形。

光化學反應：高能量電子束可以激發樣本中的化學反應，導致樣本的化學性質發生變化。

氣體解吸： 在SEM掃描電鏡的真空環境下，電子束照射樣本可能會引起樣本內氣體的解吸，導致氣泡形成，影響圖像質量。

因此，在使用掃描電鏡觀察樣本時，需要仔細選擇合適的電子束參數和采用適當的樣本處理方法，以減少電子束照射對樣本的損傷。對于特別脆弱或敏感的樣本，可能需要采用較低的電子束能量和較短的曝光時間來避免損傷。此外，可以通過冷凍等技術來保護某些生物樣本，并在觀察前進行導電處理，以減少樣本損傷。